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2 CMOS イメージセンサ向けプローブカードに求められる 信号の高速化と低電源ノイズ要求に対する最近の取り組みについて Minoru Mikami, Electrical Design Engineer Formfactor Inc. SPG Group

3 Agenda 1. Overview 2. CIS(CMOS Image Sensor) Probe Card History 3. MIPI D-PHY / C-PHY 4. D-PHY High Speed Probe Card Experience 5. Signal Integrity to Power Integrity 6. Power Integrity Simulation 7. Future Improvement Probe Card to Test System 3

4 Overview FormFactor では CMOS イメージセンサー (CIS) 用プローブカードに 2006 年から取り組んでおります これまで CIS の進化に合わせて プローブカードも進化させてきました 近い将来 ウエハーテストにおいて CIS の伝送規格 D-PHY から C-PHY へと変換されようとしています それに向けたフォームファクターでの取り組みについてご説明いたします 4

5 フォームファクター CIS 用プローブカード概要 Wafer Side Stiffener X-sectional Image Light source PCB Largest hole opening Tester Side Stiffener PH Probe Head MEMS Springs MEMS Springs on Window MLC(Multi Layer Ceramics) & PCB 5

6 CIS(CMOS Image Sensor) Probe Card History FFI MEMS CIS Probe Card since CIS Wafer Test Parallel I/O. ~100MHz D-PHY 800Mbps 1.2Gbps 2.4Gbps, C-PHY 5.7Gbps CIS Resolution 1.3Mp 3Mp 8Mp 12Mp 16Mp 20Mp CIS ウエハーテストでは 伝送規格の変更時に重複する期間があり 異なるプローブカードの仕様が要求されました 今回の伝送規格の変更でも 最終製品は C-PHY のデバイスが ウエハーテストでは D-PHY でテストされています C-PHY でのウエハーテストに向けてプローブカード製作での準備を進めています 6

7 MIPI 規格概要 MIPI 規格は標準化規格団体 MIPI Alliance が策定した携帯機器内のデータ伝送規格で D-PHY, M-PHY, C-PHY の 3 つの伝送規格があり 現在一般的に CIS で使用されているのは D-PHY から C-PHY へ移行されてきています 今回は CIS で使われている D-PHY と C-PHY について簡単に説明いたします 7

8 D-PHY の信号伝送 クロック1レーンとデータレーン (1~4) で1レーンは2 本の信号線で構成されています 各レーンは下図のような差動信号が適応されています 1レーン当たり最大 2.5Gbpsに対応しています 1UI Clock データーレーン 1 データーレーン 2 MIPI 信号基本周波数 = ビットレート (bps) (2 x 伝送効率 ) D-PHY の伝送効率は 1bit/UI (Unit Interval) 3Gbps では 1.5GHz 8

9 C-PHY の信号伝送 Embedded clock を採用したことにより クロックレーンが無く複数のデータレーンのみで 1 レーンは 3 本の信号線 (Line A, Line B, Line C) で構成されています 信号は下図のように High, Middle, Low の 3 つの値を持ち A,B,C はそれぞれ異なる値となります 受信側は A-B, B-C, C-A の差動信号をつくります また Strong 1, Weak 1, Strong 0, Weak 0 という 4 つの値をもちます 1 レーン当たり最大 5.7Gbps に対応しています 伝送効率は 16/7(2.28)bit/UI 受信側 送信信号 受信信号 ( 変換後 ) High-Low=Strong 1 High-Middle =Weak1 Middle-High = Weak 0 Middle-Low = Weak 1 Low-High = Strong 0 Low-Middle= Weak 0 9

10 D-PHY High Speed Probe Card Experience 1 Performance Board Larger Diameter Lens Light Source POGO Lens Module PCB Probe Head Longer Trace Length Large Loss Require Low Loss Technology Larger Hole (PCB, Probe Head) 10

11 D-PHY High Speed Probe Card Experience 2 Variety of Improvements implemented on D-PHY CIS Probe Card CISの高速テストに必要な様々な改善 設計手法 配線の最適化 インピーダンスコントロール MIPI 信号線の配線管理 部材 セラミック基板 PCBA インターポーザーの最適化 D-PHY 規格での 3.0Gbps に対応可能なプローブカードになっております 11

12 Signal Integrity to Power Integrity CIS 用プローブカードでは 信号品質 (Signal Integrity/SI) に加えて 電源品質 (Power Integrity/PI) の要求が強くなってきています 背景としては ハイスピード化 ピクセルピッチの狭小化 ダイナミックレンジの増大 デバイスのノイズ対策の進化 テスト項目の多様化 CIS 用プローブカード内での電源品質を向上する工夫を取り入れています 12

13 Power Integrity Simulation PIの改善に向けて - プローブカードの現実的な集中定数回路のモデル化 - 3 次元要素解析など シミュレーションも進化させています 13

14 Power Integrity Improvement 1 例 1 電源インピーダンスの特定ピーク解消 例 2 ベースラインインピーダンスの低減 プローブカードの設計における様々な要素の最適化で PI の改善を行っています 14

15 PI Measurement and Correlation with Simulation PI の測定技術の確立と シミュレーションとの相関 一般的には シミュレーションの結果と実測値には必ず差異が生じます プローブカードの電源特性の実測定も行い 相関を取るようにもしています 15

16 PI Simulation to Design Feedback Cycle 要求される電源特性がより高度になると 設計変更と PI シミュレーションの繰り返しが発生することにつながります それを回避するために様々な活動を行っています シミュレーション モデリングの精度向上 PI に影響するパラメータの蓄積 バイパスコンデンサの種類 配置 取り回し 電源ラインの取り回し 面積 優先順位 電源ライン グランド層の関係 MLC PCBでの改善 Customer Data Design Modification PI Simulation 問題発生した場合のサイクルタイム低減活動 16

17 Future Improvement Probe Card to Test System これまでは お客様とプローブカード単体での改善活動が主でした これからは テスター プローバー プローブカードのシステムとしての改善が要求される状況が予想されます その際はご協力をよろしくお願いいたします Tester Probe Card Prober 17

18 Thank You! For questions, please contact: Minoru Mikami Formfactor Inc. 18

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